根据电子束发生装置的不同，扫描电子显微镜可分为钨丝扫描电子显微镜、mace六硼化物电子显微镜和场发射电子显微镜。
l电磁透镜
它的作用是逐渐聚焦和缩小电子枪的束斑，使原来直径约50um的束斑缩小为几nm的小束斑。
扫描电子显微镜一般由三个聚光镜组成，前两个聚光镜是用来减小电子束光斑大小的强透镜。第三个聚光器是一个长焦距的弱透镜，一个精细的产品放在透镜下面。为了避免磁场对二次电子轨迹的干扰，透镜采用了上下极靴不同、孔径不对称的特殊结构，可以大大减小下极靴圆孔的直径，从而降低样品表面的磁场强度。
其功能是在荧光屏上提供入射到样品表面的电子束和阴极射线管中的电子束的同步扫描信号。
l扫描线圈
扫描线圈是扫描电子显微镜的重要组成部分。它通常放在最后两个透镜之间，有的放在最后一个透镜的空之间，使电子束在进入最后一个透镜的强磁场区之前发生偏转。为了保证同一方向的电子束可以通过最终透镜的中心发射到样品表面；扫描电子显微镜采用双偏转扫描线圈。
当电子束进入上偏转线圈时，它的方向转向，然后下偏转线圈第二次转向。当电子束偏转时，它也逐行扫描。在上下偏转线圈的作用下，电子束扫描一个矩形，并相应地在样品上画出一帧比例图像。
如果电子束被上偏转线圈偏转，它被最终透镜直接折射到入射点，而不被下偏转线圈改变方向，这种扫描方式称为角光栅扫描或摇摆扫描。
文章图片
四、示踪电子显微镜的优点
有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调；有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；试样制备简单。 目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析，因此它是当今十分有用的科学研究仪器。
推荐阅读
- 索尼更新PSVR专利 允许用户扫描真实世界物体到游戏中
- occipital 新一代专为手机开发的3D扫描摄像头问世 这次支持全部平台
- 一个勺子剧情解析 《一个勺子》细节扫描分析
- 一个勺子结局什么意思 《一个勺子》细节扫描分析
- 乙肝Assembly更新进展，开发互补机制化合物，2种处于临床开发
- 铁十字勋章 二战德国铁十字勋章扫描
- 长了肺结节如何尽早确定手术还是观察？神奇的1024靶扫描了解一下
- LOL：“巴黎人，Assemble”！FPX官宣与国际知名超英IP漫威开启合作
- 游戏王：机甲未死 尚能食肉三斤 扫描斧王机甲 你的上王新概念
- 扫描仪共享软件 【app分享】一款让你的手机瞬间变成扫描仪的软件