高桥克典：要注重工艺气体排放对生态环境的影响
11月23日上午，首届世界显示产业大会“OLED产业发展分论坛”在合肥召开 。论坛由中国光学光电子行业协会液晶分会、中国OLED产业联盟、国际半导体产业协会承办，由赛迪智库集成电路研究所、合肥平板显示产业创新战略联盟提供支持 。论坛以“开放合作，共创共赢”为主题，聚焦OLED发展关键话题，剖析OLED产业发展中面临的挑战，挖掘OLED产业未来机遇，推动新型显示产业健康、有序、可持续发展 。埃地沃兹贸易（上海）有限公司亚洲Turnkey应用总经理高桥克典出席论坛并发表演讲 。
显示屏生产带来的工艺气体对环境造成很大影响，如果减排和设施设备选择不当或操作不当，则可能向空气中释放毒物NOx、HCN、NH4F、HF on silica、Cl2、COF2、COCl2以及全球变暖气体CF4、SF6、N2O、COF2；向水中释放NaF、NH4Cl、SO2F2、Al2O3、CaF2 CaSO4、Ca2B2O5、CaCO3、Ca（OH）2、SiO2等 。解决方案就是确保对泵排气管进行加热以避免堵塞，并采用耐腐蚀材料制造，在确保NF3、N2O、NH3高DRE的同时，尽量减少氮氧化物的产生；确保CF4和SF6和任何腔室副产品的高DRE；确保有效清除废气中的固体，以避免管道堵塞；确保废水处理厂的固体物质按照当地法规进行管理 。
中国有着广泛的环境法规，包括水污染、空气污染和土壤污染领域，规定了浓度限值（mg/m3）和质量释放限值（kg/h），如果释放超过质量释放极限，则无法稀释空气源以降低质量释放速率 。一些法规还规定了特定行业的限制，到目前为止，最近为电子行业提出的有关空气污染物排放的法规仍在讨论中，尚未发布 。
【高桥克典：要注重工艺气体排放对生态环境的影响】2017年7月28日，环保部（MEP）、后来的生态环境部（MEE）发布了《固定污染源排放许可证分类管理目录（2017年版）》，指出，到2020年，将对78个行业和4个一般流程实施污染物排放许可管理 。FPD产业包括在序列69中，在2019年到2020年之间需要发放许可证，污染物排放主体将根据生产、排放污染物总量和环境破坏程度，分为重点管理主体和简化管理主体 。
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