光刻机是什么东西
光刻机（Mask Aligner) 又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等 。常用的光刻机是掩膜对准光刻，所以叫 Mask Alignment System.
光刻机的品牌众多，根据采用不同技术路线的可以归纳成如下几类：高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种 ， 分辨率通常七纳米至几微米之间，高端光刻机号称世界上最精密的仪器，世界上已有1.2亿美金一台的光刻机 。高端光刻机堪称现代光学工业之花，其制造难度之大，全世界只有少数几家公司能够制造 。国外品牌主要以荷兰ASML（镜头来自德国），日本Nikon（intel曾经购买过Nikon的高端光刻机）和日本Canon三大品牌为主 。位于我国上海的SMEE已研制出具有自主知识产权的投影式中端光刻机，形成产品系列初步实现海内外销售 。正在进行其他各系列产品的研发制作工作 。生产线和研发用的低端光刻机为接近、接触式光刻机 ， 分辨率通常在数微米以上 。主要有德国SUSS、美国MYCRO NXQ4006、以及中国品牌 。
【光刻机是什么东西】
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