为什么ASML一年最高产量只有30部EUV
晶圆制造产业进入7纳米制程之后 ， 目前全世界仅剩台积电与三星 ， 再加上号称自家10纳米制程优于竞争对手7纳米制程的英特尔等 ， 有继续开发能力之外 ， 其他竞争者因须耗费大量金钱与人力物力的情况下 ， 都已宣布放弃 。
就在7纳米制程节点以下先进制程的领域 ， 必不可少的关键就是极紫外线微影(EUV)设备导入 。除了三星用在首代7纳米LPP制程 ， 台积电也自2019年开始 ， 将EUV导入加强版7纳米+制程 。
所谓的极紫外线微影设备EUV ， 就是ExtremeUltraviolet简称 ， 使用通称极紫外线之极短波(13.5nm)光线的微影技术 ， 能加工至既有ArF准分子雷射光微影技术不易达到之20nm以下的精密尺寸 。不但能降低晶圆制造时光罩使用数量 ， 以降低生产成本 ， 并提高生产良率 ， 也因能加工过去ArF准分子雷射光微影技术不易达到的20nm以下之精密尺寸 ， 更有助半导体产业摩尔定律(Moore’slaw)再往下延伸 ， 让半导体产业发展持续精进 。
因EUV设备扮演如此关键性的角色 ， 使全球晶圆生产企业都希望获得此设备 。2012年 ， 全球三大顶尖晶圆制造厂商英特尔、台积电、三星等加入全球EUV市场占有率90%以上的ASML“客户联合投资专案”(CustomerCo-Investment Program) ， 分别取得ASML 15%、5%及3%股权 ， 保证取得EUV优先供货 。
听了这么多有关EUV设备的叙述之后 ， 或许大家都懂了这是什么样的设备 ， 但却很难想像 ， EUV不过就是一台微影设备 ， 究竟体积会有多大?日前ASML就表示 ， 目前最大年产量仅30台的EUV设备 ， 每台重量高达180公吨 ， 每次运输要用3架次货机才能运完 。
ASML表示 ， 目前半导体先进制程不可或缺的EUV设备 ， 每台有超过10万个零件 ， 加上3千条电线、4万个螺栓及2公里长的软管等零组件 ， 最大重量达180公吨 ， 每次运输必要动用40个货柜、20辆卡车 ， 并3架次货机才能运完 ， 且每部造价超过1亿美元 。在这么庞大的数字下 ， 可以想见ASML为什么一年最高产量只有30部EUV了 。
【为什么ASML一年最高产量只有30部EUV】
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